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반도체 박막 정밀계측 장비 개발 헬리오스, 프리시드 투자 유치_蜘蛛资讯网

习近平会见郑丽文

해 기술적 해자를 구축해나갈 계획이다.헬리오스는 인하대학교 물리학과 유석재 교수가 지난해 12월 창업한 대학 스핀오프 스타트업이다. 유 대표는 인하대 물리학과 연구실에서 다년간 축적한 광학 계측 원천기술을 바탕으로 사업화에 나섰다.헬리오스가 개발 중인 솔루션은 반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정하는 차세대 계측 장비다. 박막에 빛을 비춰

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